聚焦薄膜测量，马尔文帕纳科X射线分析技术荟萃

马尔文帕纳科的X射线衍射（XRD）和X射线荧光光谱（XRF）分析设备，可以对不同类型的薄膜材料进行表征。

从1954年飞利浦第一台用于薄膜分析的X射线衍射仪诞生以来，马尔文帕纳科X射线分析技术应用于半导体薄膜材料测量已有非常悠久的历史。无论是针对单晶外延、多晶薄膜、非晶薄膜都有对应的专业分析解决方案，利用对称衍射、非对称衍射、反射率、摇摆曲线、双周扫描、倒易空间Mapping和正空间Mapping等测量方式，表征薄膜材料的厚度和超晶格周期、应力和弛豫；失配和成分；曲率半径；衬底材料取向；组分分析等等。马尔文帕纳科新推出的衍射超净间系统套件，搭配自动加载装置，可在1分钟内评估面内缺陷，最大程度降低生产成本，提高检测效率。

此外，马尔文帕纳科全自动XRF晶圆分析仪，可以快速分析晶片或器件多层膜的成分及厚度，具有非常稳健的工作方式且符合超净间环境要求，在晶圆厂圆晶质量在线控制的环节倍受认可。

基于此，马尔文帕纳科联合仪器信息网将于10月14日举办“X射线分析技术应用于薄膜测量”主题网络研讨会。活动将特邀同济大学物理科学与工程学院朱京涛教授，马尔文帕纳科亚太区半导体行业经理钟明光先生，以及马尔文帕纳科XRD产品经理王林博士，XRF产品经理熊佳星先生做薄膜测量应用的相关报告，内容涉及多晶薄膜反射、织构、应力；半导体薄膜测量以及涂层、镀层等金属薄膜的成分及结构鉴定。还将安排几款用于薄膜测量的X射线分析仪器的视频演示。期待与涉及薄膜测量方向的广大科研工作者和企业研发、质控专业人员共同探讨薄膜测量领域X射线分析技术的发展及应用。